ТрансрупорТ В России создали образец первой отечественной установки для производства микроэлектроники
До недавнего времени такие машины закупались Россией за рубежом Ученые Научно-исследовательского института точного машиностроения (НИИТМ) создали опытный образец первой в России установки для плазмохимического осаждения (ПХО) на кремниевых пластинах диаметром 300 мм. С ее помощью можно производить собственные микросхемы для электроники. Как объяснили авторы проекта, до недавнего времени такие машины закупались Россией исключительно за рубежом. …